体積流量精度規定表（空気の場合） 流量の単位：m3/h（actual） 使用圧力と流量域により精度が異なります。 流体温度が23℃の場合の精度を示します。 MVF050（口径50A） 使用圧力 （MPa） 最小測定流量 Qmin 精　度 ±Q min ±4%RD流量±2%RD流量 0.01 7.3 7.3≦Q≦31 31＜Q＜73 73≦Q≦234 0.02 6.7 6.7≦Q≦29 29＜Q＜67 67≦Q≦234 0.03 6.2 6.2≦Q≦27 27＜Q＜62 62≦Q≦234 0.04 5.8 5.8≦Q≦25 25＜Q＜58 58≦Q≦234 0.05 5.4 5.4≦Q≦23 23＜Q＜54 54≦Q≦234 0.06 5.0 5.0≦Q≦22 22＜Q＜50 50≦Q≦234 0.07 4.7 4.7≦Q≦20 20＜Q＜47 47≦Q≦234 0.08 4.5 4.5≦Q≦19 19＜Q＜45 45≦Q≦234 0.09 4.3 4.3≦Q≦18 18＜Q＜43 43≦Q≦234 0.10 4.0 4.0≦Q≦17 17＜Q＜40 40≦Q≦234 0.20 2.7 2.7≦Q≦12 12＜Q＜27 27≦Q≦234 0.30 2.3 2.3≦Q≦ 9 9＜Q＜20 20≦Q≦234 0.40 2.3 2.3≦Q≦ 7 7＜Q＜16 16≦Q≦234 0.50 2.3 2.3≦Q≦ 6 6＜Q＜14 14≦Q≦234 0.60 2.3 2.3≦Q≦ 5 5＜Q＜12 12≦Q≦234 0.70 2.3 2.3≦Q≦ 4 4＜Q＜10 10≦Q≦234 0.80 2.3 2.3≦Q≦ 4 4＜Q＜ 9 9≦Q≦234 0.90 2.3 2.3≦Q≦ 4 4＜Q＜ 8 8≦Q≦234 0.98 2.3 2.3≦Q≦ 4 4＜Q＜ 8 8≦Q≦234 MVF100（口径100A） 使用圧力 （MPa） 最小測定流量 Qmin 精　度 ±Q min ±4%RD流量±2%RD流量 0.01 13.5 13.5≦Q≦39 39＜Q＜154 154≦Q≦795 0.02 12.4 12.4≦Q≦35 35＜Q＜141 141≦Q≦795 0.03 11.4 11.4≦Q≦33 33＜Q＜131 131≦Q≦795 0.04 10.6 10.6≦Q≦30 30＜Q＜121 121≦Q≦795 0.05 9.9 9.9≦Q≦28 28＜Q＜113 113≦Q≦795 0.06 9.3 9.3≦Q≦27 27＜Q＜106 106≦Q≦795 0.07 8.8 8.8≦Q≦25 25＜Q＜100 100≦Q≦795 0.08 8.3 8.3≦Q≦24 24＜Q＜ 95 95≦Q≦795 0.09 7.9 7.9≦Q≦22 22＜Q＜ 90 90≦Q≦795 0.10 7.9 7.9≦Q≦21 21＜Q＜ 85 85≦Q≦795 0.20 7.9 7.9≦Q≦14 14＜Q＜ 57 57≦Q≦795 0.30 7.9 7.9≦Q≦13 13＜Q＜ 43 43≦Q≦795 0.40 7.9 7.9≦Q≦13 13＜Q＜ 34 34≦Q≦795 0.50 7.9 7.9≦Q≦13 13＜Q＜ 29 29≦Q≦795 0.60 7.9 7.9≦Q≦13 13＜Q＜ 24 24≦Q≦795 0.70 7.9 7.9≦Q≦13 13＜Q＜ 21 21≦Q≦795 0.80 7.9 7.9≦Q≦13 13＜Q＜ 19 19≦Q≦795 0.90 7.9 7.9≦Q≦13 13＜Q＜ 17 17≦Q≦795 0.98 7.9 7.9≦Q≦13 13＜Q＜ 16 16≦Q≦795 MVF080（口径80A） 使用圧力 （MPa） 最小測定流量 Qmin 精　度 ±Q min ±4%RD流量±2%RD流量 0.01 10.9 10.9≦Q≦31 31＜Q＜109 109≦Q≦516 0.02 10.0 10.0≦Q≦28 28＜Q＜100 100≦Q≦516 0.03 9.2 9.2≦Q≦26 26＜Q＜ 92 92≦Q≦516 0.04 8.6 8.6≦Q≦24 24＜Q＜ 86 86≦Q≦516 0.05 8.0 8.0≦Q≦23 23＜Q＜ 80 80≦Q≦516 0.06 7.5 7.5≦Q≦21 21＜Q＜ 75 75≦Q≦516 0.07 7.1 7.1≦Q≦20 20＜Q＜ 71 71≦Q≦516 0.08 6.7 6.7≦Q≦19 19＜Q＜ 67 67≦Q≦516 0.09 6.3 6.3≦Q≦18 18＜Q＜ 63 63≦Q≦516 0.10 6.0 6.0≦Q≦17 17＜Q＜ 60 60≦Q≦516 0.20 5.2 5.2≦Q≦11 11＜Q＜ 40 40≦Q≦516 0.30 5.2 5.2≦Q≦ 9 9＜Q＜ 30 30≦Q≦516 0.40 5.2 5.2≦Q≦ 9 9＜Q＜ 24 24≦Q≦516 0.50 5.2 5.2≦Q≦ 9 9＜Q＜ 20 20≦Q≦516 0.60 5.2 5.2≦Q≦ 9 9＜Q＜ 17 17≦Q≦516 0.70 5.2 5.2≦Q≦ 9 9＜Q＜ 15 15≦Q≦516 0.80 5.2 5.2≦Q≦ 9 9＜Q＜ 13 13≦Q≦516 0.90 5.2 5.2≦Q≦ 9 9＜Q＜ 12 12≦Q≦516 0.98 5.2 5.2≦Q≦ 9 9＜Q＜ 11 11≦Q≦516 MVF150（口径150A） 使用圧力 （MPa） 最小測定流量 Qmin 精　度 ±Q min ±4%RD流量±2%RD流量 0.01 19.8 19.8≦Q≦56 56＜Q＜282 282≦Q≦1710 0.02 18.1 18.1≦Q≦52 52＜Q＜259 259≦Q≦1710 0.03 17.1 17.1≦Q≦48 48＜Q＜239 239≦Q≦1710 0.04 17.1 17.1≦Q≦44 44＜Q＜222 222≦Q≦1710 0.05 17.1 17.1≦Q≦42 42＜Q＜208 208≦Q≦1710 0.06 17.1 17.1≦Q≦39 39＜Q＜195 195≦Q≦1710 0.07 17.1 17.1≦Q≦37 37＜Q＜184 184≦Q≦1710 0.08 17.1 17.1≦Q≦35 35＜Q＜173 173≦Q≦1710 0.09 17.1 17.1≦Q≦33 33＜Q＜164 164≦Q≦1710 0.10 17.1 17.1≦Q≦31 31＜Q＜156 156≦Q≦1710 0.20 17.1 17.1≦Q≦29 29＜Q＜104 104≦Q≦1710 0.30 17.1 17.1≦Q≦29 29＜Q＜ 78 78≦Q≦1710 0.40 17.1 17.1≦Q≦29 29＜Q＜ 63 63≦Q≦1710 0.50 17.1 17.1≦Q≦29 29＜Q＜ 52 52≦Q≦1710 0.60 17.1 17.1≦Q≦29 29＜Q＜ 45 45≦Q≦1710 0.70 17.1 17.1≦Q≦29 29＜Q＜ 39 39≦Q≦1710 0.80 17.1 17.1≦Q≦29 29＜Q＜ 35 35≦Q≦1710 0.90 17.1 17.1≦Q≦29 29＜Q＜ 31 31≦Q≦1710 0.98 17.1 17.1≦Q≦29 　 29