温圧補正後の精度表（空気の場合） 流量の単位：m3/h（normal） 使用圧力と流量域により精度が異なります。 流体温度が23℃の場合の精度を示します。 （1） 使用圧力範囲0〜0.1MPa：MVF□□□1 MVF0501 使用圧力 （MPa） 最小測定流量 Qmin 精　度 0.01 7.4 ±Qmin ±4.8%RD ±3.4%RD 7.4≦Q≦32 32＜Q＜74 74≦Q≦237 0.02 7.4 ±Qmin ±4.8%RD ±3.3%RD 7.4≦Q≦32 32＜Q＜74 74≦Q≦258 0.03 7.4 ±Qmin ±4.7%RD ±3.2%RD 7.4≦Q≦32 32＜Q＜74 74≦Q≦279 0.05 7.4 ±Qmin ±4.7%RD ±3.1%RD 7.4≦Q≦32 32＜Q＜74 74≦Q≦322 0.1 7.4 ±Qmin ±4.6%RD ±3.0%RD 7.4≦Q≦32 32＜Q＜74 74≦Q≦428 MVF1001 使用圧力 （MPa） 最小測定流量 Qmin 精　度 0.01 13.7 ±Qmin ±4.8%RD ±3.4%RD 13.7≦Q≦39 39＜Q＜156 156≦Q≦805 0.02 13.7 ±Qmin ±4.8%RD ±3.3%RD 13.7≦Q≦39 39＜Q＜156 156≦Q≦878 0.03 13.7 ±Qmin ±4.7%RD ±3.2%RD 13.7≦Q≦39 39＜Q＜156 156≦Q≦905 0.05 13.7 ±Qmin ±4.7%RD ±3.1%RD 13.7≦Q≦39 39＜Q＜156 156≦Q≦1095 0.1 14.6 ±Qmin ±4.6%RD ±3.0%RD 14.6≦Q≦39 39＜Q＜156 156≦Q≦1457 （2） 使用圧力範囲0〜0.3MPa : MVF□□□3 MVF0503 使用圧力 （MPa） 最小測定流量 Qmin 精　度 0.1 7.4 ±Qmin ±5.4%RD ±4.1%RD 7.4≦Q≦32 32＜Q＜74 74≦Q≦428 0.15 7.4 ±Qmin ±5.1%RD ±3.7%RD 7.4≦Q≦32 32＜Q＜74 74≦Q≦535 0.2 7.4 ±Qmin ±4.9%RD ±3.5%RD 7.4≦Q≦32 32＜Q＜74 74≦Q≦641 0.3 8.5 ±Qmin ±4.7%RD ±3.2%RD 8.5≦Q≦32 32＜Q＜74 74≦Q≦854 MVF1003 使用圧力 （MPa） 最小測定流量 Qmin 精　度 0.1 14.6 ±Qmin ±5.4%RD ±4.1%RD 14.6≦Q≦39 39＜Q＜156 156≦Q≦1457 0.15 18.2 ±Qmin ±5.1%RD ±3.7%RD 18.2≦Q≦39 39＜Q＜156 156≦Q≦1819 0.2 21.8 ±Qmin ±4.9%RD ±3.5%RD 21.8≦Q≦39 39＜Q＜156 156≦Q≦2180 0.3 29.0 ±Qmin ±4.7%RD ±3.2%RD 29.0≦Q≦48 48＜Q＜156 156≦Q≦2904 MVF0801 使用圧力 （MPa） 最小測定流量 Qmin 精　度 0.01 11.0 ±Qmin ±4.8%RD ±3.4%RD 11.0≦Q≦31 31＜Q＜110 110≦Q≦523 0.02 11.0 ±Qmin ±4.8%RD ±3.3%RD 11.0≦Q≦31 31＜Q＜110 110≦Q≦570 0.03 11.0 ±Qmin ±4.7%RD ±3.2%RD 11.0≦Q≦31 31＜Q＜110 110≦Q≦617 0.05 11.0 ±Qmin ±4.7%RD ±3.1%RD 11.0≦Q≦31 31＜Q＜110 110≦Q≦711 0.1 11.0 ±Qmin ±4.6%RD ±3.0%RD 11.0≦Q≦31 31＜Q＜110 110≦Q≦946 MVF1501 使用圧力 （MPa） 最小測定流量 Qmin 精　度 0.01 20.0 ±Qmin ±4.8%RD ±3.4%RD 20≦Q≦57 57＜Q＜286 286≦Q≦1733 0.02 20.0 ±Qmin ±4.8%RD ±3.3%RD 20≦Q≦57 57＜Q＜286 286≦Q≦1889 0.03 20.4 ±Qmin ±4.7%RD ±3.2%RD 20.4≦Q≦57 57＜Q＜286 286≦Q≦2045 0.05 23.6 ±Qmin ±4.7%RD ±3.1%RD 23.6≦Q≦57 57＜Q＜286 286≦Q≦2356 0.1 31.3 ±Qmin ±4.6%RD ±3.0%RD 31.3≦Q≦57 57＜Q＜286 286≦Q≦3135 MVF0803 使用圧力 （MPa） 最小測定流量 Qmin 精　度 0.1 11.0 ±Qmin ±5.4%RD ±4.1%RD 11.0≦Q≦31 31＜Q＜110 110≦Q≦946 0.15 11.8 ±Qmin ±5.1%RD ±3.7%RD 11.8≦Q≦31 31＜Q＜110 110≦Q≦1181 0.2 14.2 ±Qmin ±4.9%RD ±3.5%RD 14.2≦Q≦31 31＜Q＜110 110≦Q≦1461 0.3 18.9 ±Qmin ±4.7%RD ±3.2%RD 18.9≦Q≦31 31＜Q＜110 110≦Q≦1886 MVF1503 使用圧力 （MPa） 最小測定流量 Qmin 精　度 0.1 31.3 ±Qmin ±5.4%RD ±4.1%RD 31.3≦Q≦57 57＜Q＜286 286≦Q≦3135 0.15 39.1 ±Qmin ±5.1%RD ±3.7%RD 39.1≦Q≦65 65＜Q＜286 286≦Q≦3913 0.2 46.9 ±Qmin ±4.9%RD ±3.5%RD 46.9≦Q≦78 78＜Q＜286 286≦Q≦4692 0.3 62.5 ±Qmin ±4.7%RD ±3.2%RD 62.5≦Q≦104 104＜Q＜286 286≦Q≦6249 7 2 43 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/