8 ・公称口径 　40〜100mm ・公称口径 　150〜400mm （単位：mm) ・公称口径 　40〜200mm 　 　　　（注） 　　　・面間寸法（Ｌ）は、接液リングがSUS材の場合ガスケッ ト無しの寸法です。接液リングがSUS材以外の場合は、 厚さ3mmのPTFEガスケットを含んだ寸法です。（尚、 PTFEガスケットは組付けられています。） 　　（注） 　　　・面間寸法（Ｌ）は、接液リングがSUS材の場合ガスケッ ト無しの寸法です。接液リングがSUS材以外の場合は、 厚さ3mmのPTFEガスケットを含んだ寸法です。（尚、 PTFEガスケットは組付けられています。） 公称口径40 50 80 100 150 200 面　間Ｌ 80 86 106 120 160 200 Ｈ1 84 93 108 120.5 160 185 高　さＨ2 43.5 52 67 79.5 110 135 Ｈ3 174.5 192 222 247 317 367 Ｈ4 109 118 133 145.5 240 210 ケース幅Ｗ 125 135 164 189 240 290 ケース外形φＤ 87 104 134 159 220 270 質　量(kg) 2.8 3.4 5.2 6.7 13.6 22.0 公称口径40 50 80 100 150 200 250 300 350 400 面　間Ｌ 200 200 200 250 300 350 450 500 550 600 Ｈ1 84 93 108 120.5 160 185 235 258 282 310 高　さＨ2 85 90 110 120 175 197 221 250 273 321 Ｈ3 216 230 265 287.5 382 429 503 555 602 678 Ｈ4 109 118 133 145.5 185 210 260 283 307 335 質　量(kg) 6.5 8.5 12.6 18.4 32.6 48.0 60.0 73.0 96.0 128.0 ■外形寸法図（ウエハ） ■外形寸法図（フランジ） WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/