11 ■外形寸法図（ウエハ） （単位：mm) ・公称口径 　2.5〜15mm （注） ・面間寸法（Ｌ）は、接液リングがSUS材の場合ガスケット無しの寸法です。接液リングがSUS材以外の場合は、 厚さ3mmのPTFEガスケットを含んだ寸法です。（なお、PTFEガスケットは組付けられています。） ・公称口径 　25〜200mm 公称口径2.5 5 10 15 25 40 50 65 80 100 125 150 200 面　間Ｌ 56 56 56 56 56 80 86 96 106 120 140 160 200 Ｈ1 71 71 71 71 77 84 93 100 108 121 133 160 185 高　さＨ2 72 72 72 72 34 43.5 52 62 67 79.5 95 110 135 Ｈ3 217.5 217.5 217.5 217.5 185.5 202.0 219.5 236.5 249.5 274.5 302.5 344.5 394.5 ケース幅Ｗ 98 98 98 98 106 125 135 148 164 189 214 240 290 ケース外形φＤ 49.5 49.5 49.5 49.5 68 87 104 124 134 159 190 220 270 質　量(kg) 3.3 3.3 3.3 3.0 3.3 3.5 4.1 5.2 5.9 7.4 10.7 14.3 22.7 2 7 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/