SEMICON Japan 2023出展のご案内

『デポ課題を解決。成膜・エッチングプロセスの進化に貢献』をテーマに、


お客様へ“ 新たな価値” をご紹介し、ご体感いただきます。

アズビルブースにご来場いただきまして誠にありがとうございました。

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アズビル展示ブースの概要

MEMS加工技術でデポ対策を強化した新しい真空計

サファイア隔膜真空計　形 V8

V8
  • 耐デポ性能向上
    ・MEMS加工技術により、2種類のセンサ構造を実現
    ・応力バランス構造のフラットセンサ
    ・付着膜を分断する凸凹センサ
  • 先端プロセスに適合可能な250℃の高温対応
    ・分離型構造と耐熱設計により、ガス供給の高温化に対応
  • 容積を当社従来比40％削減しフットプリント削減に貢献
    ・EtherCAT通信付きでも小型化

※EtherCAT®は、ドイツBeckhoff Automation GmbHよりライセンスされた特許取得済み技術であり登録商標です。

関連製品
サファイア隔膜真空計　形 V8C/V8S

Exhibitor's TechSPOT Hall4 　　

12/15（金）13:30-14:20東4ホール 主催者事務室

MEMS加工技術で
デポ対策を強化した新しい真空計

現場でお客さまと共に課題を解決しながら進化する
アズビルのサファイア隔膜真空計をご紹介します。

展示会情報

SEMICON Japan 2023

アズビル展示ブースまでのご案内

■会場までの路線図

都内主要駅から東京ビッグサイトまでの路線図 都内主要駅から東京ビッグサイトまでの所要時間

■駅・会場周辺 案内地図

会場までのご案内

国際展示場正門駅・国際展示場駅・東京ビッグサイト 周辺地図

■会場内案内図

東京ビックサイト　東展示棟

会場内案内図

ご来場前には是非当社営業までご一報ください。

展示会情報詳細
展示会名称 SEMICON Japan 2023
会期 2023年12月13日（水）〜15日（金）
開場時間 10:00〜17:00
会場 東京ビッグサイト（有明：東京国際展示場）
東展示棟　東1～8ホール
〒135-0063 東京都江東区有明3-11-1
▶ 交通アクセス
入場料 ご来場には事前登録が必要です
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主催 SEMIジャパン
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