小型デジタルマスフローコントローラ 形 F4Hは、弊社が従来販売してきた応答性・制御性に優れた マスフローコントローラを、大幅に小型化しデジタル通信機能を発展させることで 製造装置の小型化・トータルコスト削減・製造現場のIoTに貢献する製品です。

製品紹介動画

小型化

弊社従来機種に対して50%の体積に小型化しました。

デジタル通信の活用

全機種がデジタル通信を搭載しており、故障診断に役立つ多くの情報を上位の機器に送ることができます。
さらに、スマート・デバイス・ゲートウェイ 形 NX-SVG を使用すると、主要プログラマブル・ロジック・コントローラとプログラムレスで通信を構築できます。

強力な耐ノイズ性

電源回路と信号回路を絶縁しており、電源線からのノイズが入っても信号への影響がありません。

トータルコスト削減

プログラマブル・ロジック・コントローラとの接続を従来のアナログ信号から通信に移行することで、アナログI/Oモジュールを削減可能です。

アプリケーション

PVD(Physical Vapor Deposition)

プロセスチャンバーの真空度を制御するために、アルゴンガスなどを供給します。
プラズマ電源からの強いノイズに対する耐ノイズ性、 真空度を正確に制御するために優れた制御性と高精度が貢献します。

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