マスフローコントローラ

気体の流量を設定された値に制御します。 自社開発のMEMSセンサと制御機器メーカならではの高度なPID技術により、広い流量範囲での高速制御を実現したマスフローコントローラです。

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  デジタルマスフローコントローラ　形 F4Q

  形 F4Qは形 MQV□□□□を正統進化させた高性能・高機能なマスフローコントローラです。

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  デジタルマスフローコントローラ　形 MQV□□□□

  形 MQV□□□□は0.3sの高速応答を実現し多彩な機能を搭載した、一般工業市場向けのマスフローコントローラです。

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  小型デジタルマスフローコントローラ　形 F4H

  装置組み込み用の高性能な小型マスフローコントローラです。