「深化」した気体流量計。デジタルマスフローコントローラ形 MQV□□□□ 「深化」した気体流量計。デジタルマスフローコントローラ形 MQV□□□□

独自開発の熱式流速センサ、「μＦセンサ（マイクロフローセンサ）」を採用し、
高度PID制御技術により、比例アクチュエータを駆動する
高性能な気体用質量流量コントローラ。使いやすさの深化へ。

使いやすさを、さらに追求。

300msの高速制御と低差圧動作を両立。
制御レンジ任意設定機能、
電源回路絶縁化などを実現。

デジタルマスフローコントローラ形 MQV□□□□

センサ極小、小さく速い。

質量流量（マスフロー）が直接計測できるので、温度・圧力の変化による、
気体の膨張／収縮の影響を受けません。

超高速応答のμＦセンサ　×　高度アクチュエータ制御技術
深化

μＦセンサの構造と計測原理

流れのない状態　ヒータを中心とした温度分布が左右対象となります。　流れを受けた状態　ヒータ上流側の温度は下降し、下流側の温度は上昇して、温度分布の対称性が崩れます。　この温度差は、温度センサ（白金薄膜）の、抵抗値の差として現われ、質量流速（流速×密度）を求めることができます。
深化

温度影響の少ない理由

温度影響の少ない理由　正しく流量を計るには、ガス温度を正しく計測しヒータとの温度差を安定させることが重要です。 キャピラリ式 ガス温度センサが接ガスしていないため周囲温度とガス温度の差が大きいと、ガス温度が正しく測れず流量の誤差が大きくなります。 形　MQV□□□□　高感度なセンサが接ガス▶︎熱伝導が速い。　さらに、ストレートな配管▶︎低い圧力でも必要流量が流れます。

高感度・高速応答・低消費電力、優れた制御性を実現

デジタルマスフローコントローラ 形 MQV□□□□は、
高性能な、一般産業市場向けコントローラです。

真価

「300msの
高速制御性を実現」

100:1の広い制御範囲において「全閉から設定流量」「設定値変更」いずれにも抜群の高速制御性を発揮。一次側ガス圧力の変動にも高速で応答。

真価

「幅広い
製品ラインナップ」

一体形表示・分離形表示モデルを設置場所に応じて選択でき、5ml/minの微小流量から、500L/minの大流量まで、幅広い機種をラインナップ。

真価

「多彩な機能を
標準搭載」

積算パルス出力、流量OK出力機能、スロースタート機能などの多彩な機能を標準搭載。PLC等のソフト処理を必要とせず、手軽に幅広いアプリケーションに対応。

真価

「PCローダ通信に
対応」

パラメータの設定／保存に加えて、SP／PV／バルブ駆動電流／EV出力のトレンドモニタや保存が可能。

真価

「広い使用
温度範囲」

使用温度範囲「－10℃～＋60℃」と一般工業市場での設置環境に適した仕様を実現。

真価

「DC24V電源対応・
ACアダプタ対応」

DC24V電源に対応で一般的に使用される専用±15V電源は不要。専用ACアダプタを使用するとコンセントから電源を供給も可能。

様々なアプリケーションに真価を発揮します。

精密バーナー空気比制御

〈ろう付け〉〈ガラス加工バーナー〉等

真空装置でのガス流量コントロール

〈スパッタリング〉〈真空チャンバ圧力制御〉等

各種試験装置

〈各種評価装置〉〈ガス分析計〉〈培養槽〉等

炉内雰囲気のコントロール

〈電子部品焼成炉〉〈浸炭炉〉〈焼鈍炉・アニール炉〉等

「精密バーナ」による加工の課題に応える、
アズビルの技術力と課題の解決力。

課題：差圧が変動すると火炎の形と熱量が変動して、品質に影響。 解決：流量自動制御で差圧変動しても火炎が一定に維持、品質が安定。 課題：差圧が変動すると火炎の形と熱量が変動して、品質に影響。 解決：流量自動制御で差圧変動しても火炎が一定に維持、品質が安定。
進化は深化から、真価へ。「デジタルマスフローコントローラ形 MQV□□□□」詳しくナットク資料をプレゼント！

「深化」は「真価」へ


真価を発揮するのは、
「深化」の積み上げが
重なればこそ。

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