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マスフローメータ／マスフローコントローラ

マイクロフローセンサを搭載し、高速応答、低圧損、広い計測範囲を特長とする気体流量計測・制御を実現しています。

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  マスフローメータ

  気体用マスフローメータは、検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ（マイクロフローセンサ）」を使用した質量流量計です。

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  マスフローコントローラ

  独自開発の「μFセンサ（マイクロフローセンサ）」とアズビルの制御技術を融合し、高速応答性と高機能を併せ持ったマスフローコントローラです。