マスフローコントローラ

CE
製品名/形番 マスフローコントローラ
MPC
小型デジタル
マスフローコントローラ
F4H
マスフローコントローラ
MQV
外観 MPCシリーズ F4Hシリーズ MQVシリーズ
主な用途 浮子式流量計(パージメータ)
からの置換え
真空成膜、電子部品焼成、
分析装置
加工バーナ空燃比制御、
燃料電池評価装置
口径(B) 1/8 1/4 1/4
1/2
流量レンジ 0.5 L/min ~ 20 L/min 50 mL/min ~ 20 L/min 5 mL/min ~ 500L/min
空気
窒素
酸素  
アルゴン
炭酸ガス
都市ガス    
メタン    
プロパン    
ブタン    
水素  
ヘリウム  
笑気      

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