マスフローセンサ　形 MCS100

形 MCS100は、MEMSセンサを搭載した高速応答、小型・軽量のマスフローセンサです。 熱式MEMSセンサと低圧損の流路を組み合わせ、数mL/minから10L/minまでの気体質量流量を計測します。