形 MCS100は、数百万台の出荷実績を有する独自のMEMSセンサを搭載した高速応答、小型・ 軽量のマスフローセンサです。 熱式MEMSセンサと低圧損の流路を組み合わせ、数mL/minから10L/minまでの気体質量流量を 5msの高速レスポンスにて計測します。

製品紹介動画

質量流量計側
流体の温度・圧力に関わらず、温度補正・圧力補正を行わずに、標準状態（20℃、1気圧）に換算した流量値を出力します。
⇒　流体温度や圧力が頻繁に変化する使用条件、および使用場所の標高が定められない装置への搭載に好適



小型・軽量
設置場所を選びません(33.5 x 10.5 x 17.0 mm, 9g)
⇒　設置スペースが限られている機器への搭載に好適




5msの超高速応答

⇒　僅かな流量の差異や変化を検出可能であり、高速タクトのアプリケーションでの流量計測に好適





正逆両方向計測

⇒　流れ方向の検知、流れ方向が変わる計装に好適





低消費電力（24Vdc駆動時に12mA max.）

⇒　バッテリー駆動のハンドキャリー機器への搭載に好適





設置姿勢自由、前後の直管不要

⇒　実験室や様々な産業アプリケーションにおける簡易的な流量計測用途に好適

流量レンジのラインアップ

単方向流量計測モデル

• MCS100A104 : 0 ～ 3L/min
• MCS100A112 : 0 ～ 500mL/min
• MCS100A116 : 0 ～ 5L/min
• MCS100A120 : 0 ～ 10L/min

両方向流量計測モデル

• MCS100A100 : -3 ～ +3L/min
• MCS100A108 : -500 ～ +500mL/min
• MCS100A128 : -10 ～ +10L/min

構造仕様

• 材質
  接ガス部：PPS 樹脂（流路ボディ）、セラミック （回路基板)、 黄銅（配管接続部)
  カバー：PC 樹脂
• 配管接続方式：M5 めねじ（黄銅インサート）
• 使用温度範囲：0～50℃（周囲温度、流体温度ともに）
• 使用圧力範囲：-70～200kPa（出力電圧精度保証範囲は0～200kPa）
• 耐圧：300kPa

適用アプリケーションと推奨ポイント

ガス検知器、大気分析器、エアサンプラー等での吸引流量の計測・制御



• ポンプにて吸引する流量を、周囲温度の変動や大気圧の変化の影響を受けずに質量流量として 計測できます。
• バッテリー駆動が可能なため、ハンドキャリー機器に搭載できます。

酸素濃縮器での酸素供給流量の計測・制御


• 供給する酸素流量(*)を室内温度や設置場所の標高の影響を受けずに質量流量として計測できます。
• フロート式流量計からの置換えに好適です。
  　* 濃度95%、圧力50kPaを上限とした酸素に使用可能です。
  　　本製品の接ガス部には酸素禁油処理は施していません。

ワイヤボンダ等でのパージ、冷却流量の管理


• かげろうを取り除くためのエアパージ流量の計測。
• 酸化防止のための窒素パージ流量の計測。
• フロート式流量計や圧力ゲージからの置換えに好適です。

微小電子部品・光学部品の吸着・実装の確認

• 高速タクトの吸着確認に使用できる超高速応答性。
• 真空ノズルの近傍に設置可能（吸着確認に時間遅れが生じません）。
• 真空センサでは出力値に変化が生じない極く僅かな流量変化を検知可能。
• 質量流量計測であり、吸引（真空）圧力の変動の影響を受け難い。
  
• ノズルのつまりや先端の潰れをノズル開放時の吸引流量の変化にて検知可能。




アクセサリー

マルチチャンネル流量表示器　形 MCW401


マスフローセンサMCS100を4台まで接続でき、瞬時流量値を表示します。
• オープンコレクタスイッチ出力　４点
• 微小部品の吸着・実装確認アプリケーションに好適な４種類のウィンドウ コンパレータモード、および一般的な流量管理に好適な２種類のヒステリシス モードを標準装備
• RS-232C通信機能を用いて、パソコンやシーケンサから、本器のパラメータ設定、瞬時流量値の確認、スイッチ出力の動作状態の監視が可能
• 組み合わせ可能フローセンサー形番
  MCS100A100, MCS100A104, MCS100A108, MCS100A112, MCS100A120, MCS100A128

マスフローセンサ　形 MCS100の詳細はこちらへ




ページの先頭