エアマスフローセンサ　形 MCS100

形 MCS100は、数百万台の出荷実績を有する独自のMEMSセンサを搭載した高速応答、小型・ 軽量のエアマスフローセンサです。 熱式MEMSセンサと低圧損の流路を組み合わせ、数mL/minから10L/minまでの気体質量流量を 5msの高速レスポンスにて計測します。

製品紹介動画

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質量流量計側

流体の温度・圧力に関わらず、温度補正・圧力補正を行わずに、標準状態（20℃、1気圧）に換算した流量値を出力します。

⇒　流体温度や圧力が頻繁に変化する使用条件、および使用場所の標高が定められない装置への搭載に好適

小型・軽量

設置場所を選びません(33.5 x 10.5 x 17.0 mm, 9g)

⇒　設置スペースが限られている機器への搭載に好適

5msの超高速応答

⇒　僅かな流量の差異や変化を検出可能であり、高速タクトのアプリケーションでの流量計測に好適

正逆両方向計測

⇒　流れ方向の検知、流れ方向が変わる計装に好適

低消費電力（24Vdc駆動時に12mA max.）

⇒　バッテリー駆動のハンドキャリー機器への搭載に好適

設置姿勢自由、前後の直管不要

⇒　実験室や様々な産業アプリケーションにおける簡易的な流量計測用途に好適

流量レンジのラインアップ

単方向流量計測モデル

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MCS100A104 : 0 ～ 3L/min

MCS100A112 : 0 ～ 500mL/min

MCS100A116 : 0 ～ 5L/min

MCS100A120 : 0 ～ 10L/min 

両方向流量計測モデル

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MCS100A100 : -3 ～ +3L/min

MCS100A108 : -500 ～ +500mL/min

MCS100A128 : -10 ～ +10L/min 

構造仕様

• 構造仕様
  接ガス部：PPS 樹脂（流路ボディ）、セラミック （回路基板)、 黄銅（配管接続部)
  カバー：PC 樹脂
• 配管接続方式：M5 めねじ（黄銅インサート）
• 使用温度範囲：0～50℃（周囲温度、流体温度ともに）
• 使用圧力範囲：-70～200kPa（出力電圧精度保証範囲は0～200kPa）
• 耐圧：300kPav

アクセサリー

マルチチャンネル流量表示器　形 MCW401

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エアマスフローセンサ 形 MCS100を4台まで接続でき、瞬時流量値を表示します。

• オープンコレクタスイッチ出力　４点
• 微小部品の吸着・実装確認アプリケーションに好適な４種類のウィンドウ コンパレータモード、および一般的な流量管理に好適な２種類のヒステリシス モードを標準装備
• RS-232C通信機能を用いて、パソコンやシーケンサから、本器のパラメータ設定、瞬時流量値の確認、スイッチ出力の動作状態の監視が可能
• 組み合わせ可能フローセンサ 形番

エアマスフローセンサ 形 MCS100用流量表示器 形 MCW100

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エアマスフローセンサ 形 MCS100を接続できる流量表示器です。
形 MCS100の計測流量レンジを設定し、内部でリニアライズ演算処理を行い、瞬時流量を表示し、スイッチ信号を出力することができます。
また、5通りの動作モードを備え、形 MCS100と組み合わせることで微小電子部品の真空吸着確認、簡易的な流量表示、流量アラーム出力等の用途でお使いいただくことが可能です。
なお、表示には高輝度の液晶(LCD)を採用し、視認性を向上させています。表示色は緑、赤を任意に設定でき、スイッチ出力動作に合わせて表示色を切り替えることが可能です。