サファイア隔膜真空計 SPG5/6/7は、受圧部に高耐食性、高耐熱性であり機械特性にも優れた単結晶サファイアを使用し、静電容量検出により、高温計測環境下でも高い計測再現性を実現しています。
先進の信号処理技術により、温度特性、直線性などの誤差の少ない計測を実現、マイクロマシニング技術で形成したサファイアセンサにより、小形、軽量化も合わせて実現した自己加熱タイプの隔膜真空計です。

品質向上に貢献

非常にストレスがかかる環境で使用されることが多い真空計は、さまざまな要因によりゼロ点のズレが発生しやすい 製品です。真空計のゼロ点ズレは制御量に影響し、それにより最終製品の品質にも影響します。サファイア隔膜真空計は、ゼロ点がシフトしにくい構造を採用しています。

生産性向上に貢献

設備のダウンタイムを低減します。無駄な時間を削減するための機能を搭載しました。

プロセス改善に貢献

従来、圧力信号の変化でしか分からなかった、さまざまな情報を可視化し、お客さまのプロセス改善に貢献します。

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