流量計

保守性・省エネルギー等、お客さまのご要望を実現する5種類の測定原理の流量計を提案します。

渦流量計

渦流量計

温度・圧力補正機能を内蔵した流量計測で、気体・液体・蒸気など幅広いアプリケーションでの高精度計測を実現します。

コリオリ質量流量計 Admass™
形 RC111□

コリオリ質量流量計 Admass™<br />形 RC111□

液体、気体の測定が可能なコリオリ式質量流量計です。配管振動にも強い、トーションバー振動システムを採用しています。

マスフローコントローラ

マスフローコントローラ

気体の流量を設定された値に制御します。 自社開発のMEMSセンサと制御機器メーカならではの高度なPID技術により、広い流量範囲での高速制御を実現したマスフローコントローラです。

マスフローメータ

マスフローメータ

超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融合により、従来にない高精度、ワイドレンジアビリティを実現した質量流量計です。

マスフローセンサ

マスフローセンサ

形 MCS100は、MEMSセンサを搭載した高速応答、小型・軽量のマスフローセンサです。 熱式MEMSセンサと低圧損の流路を組み合わせ、数mL/minから10L/minまでの気体質量流量を計測します。

小型液体流量計

小型液体流量計

微小液体流量の瞬間・積算流量の計測を実現し、実際の流量データにより製造工程の品質管理や工程異常検知が可能になりました。