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マイクロフローセンサのサイズ
1.7mmの微小サイズのマイクロフローセンサ
「人を中心としたオートメーション」の探求を通じて、お客さまの課題解決や地球環境への貢献に取り組むazbilグループでは、再生可能エネルギーの導入や省エネ施策などの支援を推進しています。それらの取組みを進めるにあたり、燃料や動力源として使われる流体の管理はもちろんのこと、エネルギー効率に関係する質量流量の計測が重要となります。
アズビルのマイクロフローセンサ™は、高精度な質量流量計測を実現しています。米粒よりも小さい、実に1.7mm四方のシリコンチップの上に厚さわずか1ミクロンの薄い膜であるダイアフラムを形成し、ダイアフラムの中央部にヒータ、そしてその左右に温度センサを配置して形成されています。
高性能なセンサをMEMS技術で開発
このような微小なセンサの開発は、ナノスケールからミクロンスケールの微細な構造を作り出すための微細加工技術を基盤として、その上に機械的、電気的、熱的な要素を組み込んだ微小なデバイスやシステムを製造するアズビル独自の高度なMEMS技術によって支えられています。MEMSとはMicro Electro Mechanical Systems（微小電気機械システム）の頭文字をとった略称です。単なる微細加工による構造物ではなく、そうした技術を利用して動作や機能を備えた超小型デバイス／システムであることが特徴で、広範な分野の製品に組み込まれ、機器の小型化や省電力化、高機能化などに応用されています。
アズビルは1980年代から、MEMSの可能性に着目し、自社でもMEMS研究開発を進めてきました。開発開始当初の、低流速域を計測するマイクロフローセンサから始まり、高流速向けのフローセンサや、微小流路をセンサチップの表面に接合した流路一体型構造のフローセンサの開発へと展開しています。これにより、5mL/minの微小流量から2500L/minまでの広い流量域に対応した高精度な計測・制御が可能となりました。こうした展開を通じて、アズビルは様々なセンサを開発し、自社製品への搭載を進めています。
今後、生成AIの進化やDX（デジタルトランスフォーメーション）＊1の推進に伴い、MEMSの活用範囲はさらに広がっていくことが予想されます。アズビルでは計測と制御の技術を基盤に、MEMSの技術力をさらに高め、MEMSを活用した製品化を進めることで、お客さまの現場や市場のニーズに応えていきます。
- ＊1：DX（Digital Transformation）
進化したデジタル技術を浸透させることにより、人々の生活をより良いものへと変革すること。
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