主要用于半导体及液晶制造工序检测使用的药液、纯水等的液面或漏液、晶元匹配用光纤单元或LED等微小部品的落下检测用光纤单元等特定用途的光学式传感器系列。


主要用于检测半导体・液晶制造时的露光、洗净、热处理工序所使用的药液、纯水等的液面、漏液，采用独自的光学系实现了稳定检测、省空间，支持失效保护。 晶元匹配时使用的狭光光纤单元、LED等微小部品的落下检测用光纤单元采用适合用途的光学设计及筐体设计，使高检测性能与省空间得到了统一，减少了调整工时，也提高了维护性。