
蓝宝石隔膜真空计
型号 V8C/V8S



EtherCAT
蓝宝石隔膜真空计型号 V8,通过应用MEMS加工技术的传感器,改善了耐沉积性能。
受压部采用了高耐腐蚀性、高耐热性且机械特性优异的单晶体蓝宝石,使得型号 V8S的使用温度上限可至250℃。
通过提高耐沉积性能,减少停机时间
应用MEMS加工技术,改善了漂移量。
应力平衡结构
增加感压部的外周部厚度,
通过抵消外周部和中心部的应力平衡,
减少零点漂移
V8传感器结构

凹凸传感器
感压部表面进行凹凸加工,
切断附着膜,减少沉积物的应力影响

使用温度上限可至250℃,可应对过程气体的更高温度
型号 V8S通过改善基板部分和传感器部的分离及使用材料,使用温度上限可至250℃。
通过小型化减少占用空间
提高了内部组件的空间利用率,减少了体积。(与本公司以往产品相比)