耐環境温湿度センサ

耐環境温湿度センサ 形HTY1000/形HTY1010は、温度検出素子に測温抵抗体(Pt100 JIS C1604 A級)を使用し、湿度検出素子に高分子容量式湿度検出素子(弊社開発 FP4™)を使用した高精度高信頼度なセンサです。

CE

本センサの温湿度計測は、温度検出素子(測温抵抗体(Pt100))と高分子容量式湿度検出素子が一体化された自社開発の温湿度エレメントFP4™により行います。
測温抵抗体(Pt100) は、湿度検出素子の加熱用としても利用されており、加熱により各劣化モードの回復・検知ができます。

ドリフト回復機能

温湿度エレメントFP4は、加熱処理により高分子内に残留している薬剤を気化させ、ドリフトした特性をセンサ初期状態へ再生します。
本機能の対象となる薬剤とその耐性を記載します。

  • 連続暴露濃度
    24時間ごとに10分間の加熱処理を実施し、ドリフト量が±2%RH以内に収まる濃度と期間。

ドリフト回復機能の薬品耐性

薬剤 仕様
有機溶剤 エタノール 250ppm 3年暴露 24時間毎10分加熱
有機溶剤 アセトン 100ppm 3年暴露 24時間毎10分加熱
有機溶剤 メチルエチルケトン 100ppm 3年暴露 24時間毎10分加熱
有機溶剤 乳酸エチル 50ppm 3年暴露 24時間毎10分加熱
有機溶剤 NMP(N-メチル-2-ピロリドン) 200ppm 3年暴露 24時間毎10分加熱
  • 許容濃度
    24時間暴露でずれた計測値が±1%RH以内に復帰する濃度と加熱時間。

ドリフト回復機能の薬品耐性

薬剤 仕様
有機溶剤 エタノール 1000ppm 24時間暴露 15分加熱
有機溶剤 アセトン 750ppm 24時間暴露 20分加熱
有機溶剤 メチルエチルケトン 300ppm 24時間暴露 15分加熱
有機溶剤 乳酸エチル 50ppm 24時間暴露 10分加熱
有機溶剤 NMP(N-メチル-2-ピロリドン) 200ppm 24時間暴露 10分加熱
  • 参考
    加熱回復機能に係わらない薬品耐性を次表に示します。
薬剤 仕様
消毒剤 ホルマリン 300ppm 24時間暴露 ±5%RH
無機化合物 アンモニア 10ppm 24時間暴露 ±3%RH

ドリフト検知機能

湿度センサは、エレメント素子を測定雰囲気にさらす必要があるため、温度センサのように外界から隔離できません。そのため、ある程度のドリフトは避けられません。
ドリフトの起因となる主な環境と劣化モードは、次のとおりです。

主な環境と劣化モード

使用環境 ドリフト要因 劣化モード 検知機能
半導体、製薬などの生産現場 生産材料や接着剤、インクなどから蒸発した有機溶剤 有機溶剤が高分子内に入り込み、誘電率が変化するため、計測値にずれが生じます。特に低湿領域(30%RH未満)でずれが大きくなる傾向があります。使用環境により短期間でも劣化します。ドリフト回復機能が有効です。 ドリフト検出1
動物飼育、病院、その他(外気、温泉など) 消毒剤に含まれる塩類、酸、空気中の亜硫酸ガス エレメント表面やその周辺に付着した物質が吸湿することにより、計測値にずれが生じます。高湿になるほどずれが大きくなる傾向があります。劣化に時間がかかります。ドリフト回復機能で一時的に回復します。 ドリフト検出2

(注) エレメント洗浄によりドリフトした状態から回復できる場合があります。
詳細は、「資料ダウンロード」のタブより製品仕様書の『■ 保守』を参照してください。

  • ドリフト検出1
    加熱処理により有機溶剤が除去されないと、計測値がドリフトする場合があります。加熱中の湿度エレメントの相対湿度は、ほぼ0%RHとなりますが、湿度エレメント内に有機溶剤が残留すると高い値になります。エレメントの初期状態(工場出荷時)と加熱処理中の湿度計測最小値とを比較しドリフトを検知します。


  • ドリフト検出2
    潮解性(吸湿性)物質がエレメントとその周辺に付着し、湿度計測値が高めにドリフトする場合があります。潮解性物質は、エレメント加熱処理後も付着していますが、加熱により湿気が飛び一時的に回復します。そのため、加熱処理したエレメントの湿度計測値ともう一つのエレメントの湿度計測値を比較しドリフトを検出します。

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