センサ
savic-net™G5コンパクトモデル
ユーザビリティを強化した監視機能を提供する2万m²規模以下建物向け中央監視システム
アズビル株式会社 ビルシステムカンパニー開発本部開発4部 田中 義人
アズビル株式会社 ビルシステムカンパニー開発本部開発1部 坂本 俊隆
生産性向上の実現に向けたIO-Link™対応誘導形近接センサ用ICの開発
一般的なON/OFF出力やIO-Link通信に対応した誘導形近接センサに用いる近接センサICを開発した。このICに含まれる発振回路は，温度特性が小さく検出体密着状態から検出体が無い状態までセンシング用コイルのインピーダンスに比例した発振振幅とすることができる。このことにより，IO-Link通信対応の近接センサで，予防保全や遠隔監視の観点から必要となる検出体の位置に応じたアナログ値を出力することができ，検出体が近い位置での検出や，調整精度を高めることが可能となった。また，専用ツールと組み合わせることで各種設定を行うことができ，装置の生産性向上の実現が可能となる。
アズビル株式会社 アドバンスオートメーションカンパニーCP開発部 高宮 知広
アズビル株式会社 アドバンスオートメーションカンパニーCP開発部 川井 真一
アズビル株式会社 アドバンスオートメーションカンパニーCP開発部 尾身 知子
SUBLIME: Single-use battery-less wireless temperature sensor for lyophilization process
凍結乾燥プロセスにおける1次乾燥中の昇華面（未乾燥部と乾燥部の境界）での状態は重要なパラメーターであり，凍結乾燥レシピの開発，検証，および生産の堅牢性維持に与える影響は相当なものである。特に参考文献（1）に概説する新しい医薬品の製造管理および品質管理の基準（GMP）への対応のため，凍結乾燥プロセスが一層複雑になっている。本論文では，SUBLIMEという名称の新たなプロセス分析技術（PAT）ツールを取り上げた。本ツールは，バッテリー不要，使い捨て可のワイヤレスプローブを採用し，昇華面の温度をリアルタイムでモニタする。この革新的なツールは，凍結乾燥炉への自動搬入搬出システムを用いることで，これまで困難だった温度モニタの利用を簡略化しただけでなく，相互汚染リスクも軽減する。
Joel Nuñez Sanz
Azbil Telstar, S.L.U.
アズビルMEMSの歴史と今後の展望
「計測と制御」の技術を活用し，「人々の安心，快適，達成感の実現」と「地球環境への貢献」を追求しているアズビルにとって，センサはキーコンポーネントの1つであり，MEMSは高性能で付加価値の高いセンサを実現する上で非常に重要な基幹技術である。早くからその有用性に注目して，1980年代半ばにはクリーンルームの建設とMEMSセンサの研究開発を開始し，これまでに様々なMEMSセンサを自社開発して多くの製品に搭載してきた。今回は主要なMEMSセンサの歴史や技術，特長を紹介するとともに，今後の展望について述べる。
アズビル株式会社 技術開発本部センシングデバイス技術部 米田 雅之
アズビル株式会社 技術開発本部センシングデバイス技術部 図師 信彦
ユーザビリティを向上させた マスフローコントローラの開発
機械・電気・半導体などの市場では，熟練作業者の減少や要求品質の高まりにより，マスフローコントローラでの制御自動化が進んでいる。近年では，増加する計測器を限られた作業者で管理しているため，素早い状態把握手段と簡単に扱える操作手段が求められるようになってきている。今回，UI（User Interface）デザインを一新するとともに，使用条件への適合性を改善することで，従来品より多くのアプリケーションで最適な制御を提供し，市場要求にも応えたマスフローコントローラの開発を行ったので，その概要を紹介する。
アズビル株式会社 アドバンスオートメーションカンパニーCP開発部 大貫 量孝
MEMS技術を駆使して過大圧保護機構を集積化した 超高耐圧差圧センサの開発
グレースケールフォトリソグラフィ，ウエハレベル表面活性化接合，Bosch/Non-BoschコンビネーションプロセスといったMEMS技術を駆使することで，センサチップレベルで使用差圧の約630倍の高耐圧化を実現する画期的な構造を有する差圧センサを開発した。さらにこのセンサは1チップで差圧と静圧を高精度に検出可能であり，差圧レンジを超える過大圧印加時にも差圧・圧力の計測が可能である。
アズビル株式会社 技術開発本部センシングデバイス技術部 徳田 智久
オイルフリー高感度圧力センサの開発と応用検討
差圧・圧力発信器に搭載されているピエゾ抵抗式圧力センサが大気中だけでなく高湿度下においても高い安定性を有する特長を活かし，サニタリー仕様の圧力センサへの応用を検討した。サニタリー仕様ではいくつかの要求事項があるが，特にオイルフリー要求に対して性能面で満足する製品は，現状世の中に存在しない。そこで，独自設計したMEMSセンサ素子を金属受圧ダイアフラムに接合し，ダイレクトに歪（ひずみ）を検出することで，オイルフリーで液封型同等レベルの高精度な圧力センシングが可能であることを実証した。さらに，本技術を「ロボットアームおよびロボットハンド用の力覚センサ」への応用を視野に入れ技術検証を行ったので報告する。
アズビル株式会社 技術開発本部センシングデバイス技術部 瀬戸 祐希
MEMSセンサの能力を最大限に発揮させる センサパッケージング技術
アズビルは計測と制御の技術の要となるMEMSセンサ開発において，MEMSセンサチップ開発技術とセンサパッケージング技術の両者を保有することにより，他社が容易に追従できない優れた計測制御機器の開発を可能としている。センサパッケージングにおいては，ウエハ面内の膜厚のバラツキや金属と異なる線膨張率を有するといった製品化を行う上で不利となるMEMSセンサチップの特性を補完し，さらにMEMSセンサチップの材料が有する優れた特性を活かすことが重要である。本稿では，アズビルのセンサパッケージング技術について報告する。
アズビル株式会社 技術開発本部工程開発部 關 宏治
アズビル株式会社 技術開発本部工程開発部 片桐 宗和
小型化，プロセス耐性を高めた サファイアリニューアル真空計の開発
半導体製造プロセス用に開発された先行モデルである静電容量式真空計（形 SPG□□）を抜本的に改良した新たな真空計を開発した。センサチップおよび周辺のパッケージ構造も抜本的に変えて小型化および低容積化，高耐圧化を実現するとともに特殊なダイアフラムの構造により耐デポ性能も著しく改善した。さらにセンサ部と計測回路を分離する構造により動作可能温度を従来の200℃から250℃まで上げ，日々進歩が著しい半導体製造プロセスの様々な客先ニーズに対応できるようになった。
アズビル株式会社 技術開発本部センシングデバイス技術部 石原 卓也
新クリーンルームの設計コンセプト ─ 独創的MEMSセンサの効率的な市場導入促進に向けて
独創的MEMSセンサの効率的な市場導入促進に向けて
2022年9月，アズビルは藤沢テクノセンターにMEMSセンサの開発拠点として地上3階建3フロアの新たなクリーンルームを竣工させた。このクリーンルームは独創的なMEMSセンサを効率的に開発し，開発完了後は速やかに量産に移行することを目的としている。順次導入される各種装置群により，今後のアズビルの計測と制御を担う技術開発の基盤となると同時にクリーンルーム建設と装置導入に携わることで成長した若手技術者達とともに，今後も長期にわたりアズビルの新時代の事業を担っていくことが期待できる。
アズビル株式会社 技術開発本部マイクロデバイス部 中野 正志
アズビル株式会社 技術開発本部マイクロデバイス部 黒澤 敬
アジャスタブル近接センサ 形 H3C ─ オートチューニングと余裕度の可視化で調整工数削減と安定稼働に貢献
オートチューニングと余裕度の可視化で調整工数削減と安定稼働に貢献
アズビル株式会社 アドバンスオートメーションカンパニー 佐藤 永幸
アズビル株式会社 アドバンスオートメーションカンパニー 喜入 信博
azbil Technical Review 2021年 特集：新しい働き方を支援する「人を中心としたオートメーション」
封入液量を極少化した圧力センサ構造の開発
プロセスオートメーション（PA）、ファクトリオートメーション（FA）、さらにサニタリ市場等、多岐にわたる市場に多くの価値を提供できると考えられる、小型圧力発信器向けの圧力センサ構造を開発した。この圧力センサ構造は、過大圧保護機構を内蔵した新型圧力センサ素子を搭載している（1）。新型圧力センサ素子は、圧力検出部の上下に圧力導入室を備え、圧力伝達媒質である封入液の量を極めて少なくすることが可能である。封入液量が極少化されると、周囲温度影響による特性劣化を最小限に抑えられ、高精度化が可能となる。今回開発の圧力センサ構造の封入液量は、従来比1/10以下となっている。
アズビル株式会社 技術開発本部 田中 達夫
azbil Technical Review 2016年 特集：生産現場・執務空間ソリューションを加速する情報化技術
産業用センサにおける製造装置の高機能化を実現するネットワーク技術
装置全体の高精度・高機能化を実現すべく、オープンフィールドネットワークであるMECHATROLINK-Ⅲに対応した高精度位置計測センサコントローラ 形 K1G-C04Mを開発した。本製品によりアナログ出力モデルの持つ課題を解決し、計測周期250μs、最小分解能0.1μmというセンサとしての性能を最大限活かす計装を可能とした。同時にMECHATROLINK-Ⅲの持つ定周期性、高速性および通信監視機能により、さらに高い信頼性を要する装置への適用を可能とした。
アズビル株式会社 アドバンスオートメーションカンパニー 西坂 晋